流量( N2 ) :12L/min, 空气A:26L/min, 空气B:10L/min, 纯度:99%
流量( N2 ) :40L/min, 空气A:22L/min, 空气B:25L/min, 纯度:97%
流量( N2 ) :80L/min, 空气A:22L/min, 空气B:2L/min, 纯度:97%
流量( N2 ) :120L/min, 空气A:22L/min, 空气B:25L/min, 纯度:95%
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